RION/日本理音液體粒子(zǐ)計數器(qì),可檢測從純水到氫氟朋煙酸各種各樣的液體。液體計數器(qì)的使用是為(wèi)了子月控制化學品中的粒子(zǐ),如(rú)半導體制程中的專用材料比如(rú風生)SOG和光阻材料,超純水和清洗用化學劑比如(rú)堿,有機溶劑和氫氟酸。文長另外,也可檢測化學機械抛光中大(dà)粒徑的研磨液,測試方法包括在線和離線測暗弟試。
家知
光源鐳射二極管(波長(cháng):780nm,額定輸出:5mW)
鐳射材料 人造石英PFA PTFE
流量10ml/分鐘(zhōng)
粒徑範圍(7通(tōng)道,标配) ;&nbs現飛p; ≥0.5μm; ≥1μm; ≥2μm; ≥3μm; ≥5μm; ≥10μm; ≥20μm
可選通(tōng)道 1-10個通(tōng)道,由控制器(qì)設定,離風設定範圍:0.5~20μm
粒子(zǐ)數量 1200顆/ml
電源 DC12V(由KE-40B1供應)
尺寸.重量 125(H)X 240(W) 在什 X 151(D)mm,大(dà)約:3.2kg