RION/日本理音液體粒子(zǐ)計數器(qì)，可檢坐如測從純水到氫氟酸各種各樣的液體。液體計數器(qì)森員的使用是為(wèi)了控制化學品中的粒子(zǐ)，如(rú)半導體制程中的西舞專用材料比如(rú)SOG和光阻材料，超純水和書事清洗用化學劑比如(rú)堿，有機溶劑和氫氟酸。另外，也可檢測化學機械抛光中大微花(dà)粒徑的研磨液，測試方法包括在線和離線測試。
 

        &n著紅bsp;        

技術參數

光源鐳射二極管(波長(cháng):830nm,額定輸出:200mW)

鐳射材料 KS-42A 人造石英PFA

KS-42AF 藍寶石PFA(可測氫氟酸)

流量 10ml/分鐘(zhōng)

粒徑範圍(5通(tōng)道);  ≥0.1μm;&n筆年bsp; ≥0.15μm ;≥0.2μm;  ≥0.3μm;&nbs雪員p; ≥0.5μm    (可選配≥1.0μm)

可選通(tōng)道 1-10個通(tō很有ng)道,由控制器(qì)設定,設定範圍:0.1,0.13~0.5和拍μm

粒子(zǐ)數量 1200顆/ml

電源 DC12V(由KE-40B1供應)

尺寸.重量 125（H）X 240(W) X 151(D) mm,大(費又dà)約:4kg