RION/日本理音液體粒子(zǐ)計數器(qì)，可檢測從純影話水到氫氟酸各種各樣的液體。液體計數器(qì)的使用是為(wèi)了控制化學品化腦中的粒子(zǐ)，如(rú)半導體制程中的專還頻用材料比如(rú)SOG和光阻材料，超純水和清空麗洗用化學劑比如(rú)堿，有機溶劑和氫氟酸。另外，也可檢測化學機械抛光中大(d河校à)粒徑的研磨液，測試方法包括在線和離線測試亮好。

  數新

特點優勢

光源鐳射二極管(波長(cháng):780nm,額定輸出:40m信唱W)

鐳射材料 KS-42B 人造石英PFA PTFE了湖

KS-42BF 藍寶石PFA PTFE(可測氫氟酸)

流量 10ml/min

粒徑範圍(5通(tōng)道，标配);    ≥0.2μm;  &n白筆bsp;≥0.3μm;  ≥0.5μm; ≥1μm;  ≥2μm  

可選通(tōng)道 1-10個通(tōng)道,由控制器(外議qì)設定,設定範圍:0.2~2μm

粒子(zǐ)數量 1200顆/ml

電源 DC12V(由KE-40B1供應)

尺寸.重量 125（H）X  錯市240(W) X 151(D) mm,大(dà)約飛她:3.2kg