監測超淨半導體環境的污染物控制解決方案（二）

2023-02-13
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深圳市億天淨化技術有限公司

　　半導體制造

　　Semiconductor Manu機文facturing

　　半導體短(duǎn)缺和半導體更小(xiǎ輛鐘o)的工(gōng)藝節點競争。集成電路(IC)的短朋務(duǎn)缺要求從制造過程中獲得(de)更多的産出，因此行業領導者則在競争更購科小(xiǎo)的工(gōng)藝節點。這些挑戰要求對空氣中的顆粒物污染男理進行監測，以确保産品無風險，産量(産品良率)提升，順利通對雪(tōng)過潔淨審核。TSI通(tōng)過我們(從業men)的高靈敏度粒子(zǐ)計數器(qì)提供從納米粒友吃子(zǐ)到亞微米粒子(zǐ)等完整的環境監測解決方案，滿足光影半導體短(duǎn)缺和更小(xiǎo)工(gōn劇那g)藝節點的競争需求。

　　TSI 10 nm潔淨室凝聚核粒子(zǐ用著)計數器(qì)(CPC)和0.1 μm粒子(zǐ)計數器(qì)吃中(遠程粒子(zǐ)計數器(qì)和便攜式粒子(zǐ)計數器(qì))妹睡是滿足半導體行業關鍵需求的最佳組合。

　　TSI 提供高靈敏度粒子(zǐ)計數器(qì有和)近60 餘載，比任何其他(tā)粒子(zǐ)計數器(qì)公司曆史紅事更悠久。TSI儀器(qì)被用于世界各地國家(jiā)級标準匠離實驗室，這些實驗室要求卓越的準确性、重複性和可綠放靠性。絕不(bù)妥協于任一制造過程——相信TSI會(huì)監服機測到一切。

　　您值得(de)信賴的0.1&mic放和ro;m測量

　　1.0CFM (28.3 L/min)的A輛什eroTrak®遠程粒子(zǐ)計數器(qì)711還但0型和AeroTrak®便攜式粒子(來山zǐ)計數器(qì)9110型能夠滿足半導體潔淨室應用的苛刻要求。兩款儀說到器(qì)均為(wèi)您提供4年激光器(qì)保修。

　　AeroTrak® 遠程粒子(zǐ)計數離外器(qì)7110型

　　7110 型遠程粒子(zǐ)計數器(qì)姐體的檢測精度可低(dī)至 0.1 μm！此款儀器(qì動我)采用具有提高的信噪比的專利 HeNe 激光技術房木實現。此款儀器(qì)專用于無塵室監測、過程監測及過濾器(q生暗ì)測試應用領域。此外，由于此款粒子(zǐ)計數器(qì)與外店新部真空源一起使用，因此置放和配置系統具有極大(dà)的鄉藍靈活性。

　　粒子(zǐ)計數數據能夠輕松連續傳輸到 TSI FMS 5 之類設備監測還紅系統中，進行安全的數據采集和分析。特别是，當它與 FMS 哥訊5 整合時(shí)，您會(huì)擁有一個具備購妹統計過程控制等特點的強大(dà)生産力工(gōng)具。綠還這些粒子(zǐ)計數器(qì)還能存儲多達現子2000 條樣本記錄。

　　7110 型符合 ISO 21501-4但街中規定的所有嚴格要求。它通(tōng)過 NIST 可溯源 PSL 球進工到行校(xiào)準，采用粒子(zǐ)檢測公認标準，即場但 TSI 的世界級分級器(qì)和凝聚核冷讀粒子(zǐ)計數器(qì)标準。

　　AeroTrak® 便攜式粒子(zǐ)計數器(qì)少麗9110型

　　9110 型便攜式粒子(zǐ)計數器(qì)檢測精度可低(dī)裡機至 0.1 μm！9110型完全遵從 ISO-14644-1 标準，是 1 級能體和 2 級潔淨室分級的最佳選擇。這款儀器(廠科qì)适用于潔淨室監測、過程監控和過濾器(qì)測試應用。

　　9110 型可以通(tōng)過打印機和配套的 TrakProTM土通 Lite Secure 下載軟件生成符合會場 ISO 14644-1 标準的通(tōng)過或非符合的報告。校東它不(bù)僅可以作為(wèi)單機粒子(zǐ)計數器(路道qì)使用，也可以集成于諸如(rú) FMS件船 5 等在線粒子(zǐ)監測系統。數據存儲量可達250 個區在弟域，999 個位置和 10,000 個樣品。

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