近日，國家(jiā放拿)标準委發布了GB/T 25915.1-2021《潔淨室及相關受控環境-1：信工空氣潔淨度等級》，該文件修改采用ISO 14644-1 :2015《 潔淨工那室及相關受控環境第1 部分: 按粒子(zǐ)濃度劃分空氣潔淨度等級》，将林舊代替 GB/T 25915 .1-201工子0 《潔淨室及相關受控環境第1部分:空氣潔淨度等級》，于2022年技費3月1日實施！

    　　文件解讀如(rú)校件下：

    　　關于潔淨度測試采樣點數量的要求，文件删除基跳鐘于面積計算采樣點數的計算公式，而是預先給定藍書一張針對不(bù)同房間面積所對應的采樣點數的表格：

    　　對于房間面積≥6商快36平方（ISO14644：2015為(wèi)＞1000平方）的，通(tōn謝地g)過下列公式計算（公式與ISO14644：2015不(bù)同）：空北

    　　删除對粒多自濃度進行UCL/LCL計算的要求

    　　文件給出了術北确定單次采樣量和各點的采樣時(shí)間的方法：所選最大(湖務dà)粒徑的粒子(zǐ)濃度恰好(hǎo)為(wèi)規定的ISO 級别上限森人時(shí),在各采樣點所采的空氣量足以檢睡影測到至少20個粒子(zǐ)。每個采樣點的單次采樣量VS,按公式(A吧妹.2)計算。

    　　每一采樣湖土點的采樣量至少為(wèi)2L,每一采樣點單次采樣的最小長煙(xiǎo)采樣時(shí)間為(wèi)1 鐘子min,每一采樣點的每次采樣量應一緻。

    　　删除IS但章O 5（A級）5.0um粒子(zǐ)的限度标準：

    　　關于監測儀器(qì路新)（粒子(zǐ)計數器(qì)），要求按照GB/T 29024.4-201街就7（等同采用ISO 21501-4:2007，而IS麗術O最新版本為(wèi)ISO 21501-4:2018頻鐘）進行校(xiào)準。

    　　文件将于2022通弟年3月1日實施。

    　　全文如(rú)下：

    　　1範圍

    　　本文件規定了按空氣中懸浮粒子(zǐ)濃度劃兒日分潔淨室、潔淨區、GB/T25915.7 所述的隔離裝置中的空裡好氣潔淨度等級。

    　　本文件适用車拍于粒徑擋下限為(wèi)0.1&mu雨做;m~5μm 的顆粒物累積計數分布及其裡件粒子(zǐ)濃度的監測。

    　　超細粒子(zǐ)(5μm)短水的粒子(zǐ)濃度,用 M 描述符對其量化。

    　　本文件不(bù)冷身适用于表征空氣懸浮粒子(zǐ)的物理性、化學性、放射性、生物活性或其他(tā愛制)特性。

    　　2規範性引用文件

    　　下列文件中的内容通(tōng)過也又文中的規範性引用而構成本文件必不(bù)可少的條計用款。其中,注日期的引用文件,僅該日期對應吧暗的版本适用于本文件;不(bù)注日期的引用文件,其最新版本(包括有靜所有的修改單)适用于本文件。

    　　3術語和定義

    　　下列術語現為和定義适用于本文件。

    　　3.1 基本

    　　3.1.1

    　　潔淨室 cleanroom

    　　空氣懸浮粒子(zǐ)濃度吃姐受控并分級的房間,其設計、建造到運行均使進入、産生、滞留于房間水看的粒子(zǐ)受控。

    　　注1靜裡:規定了按空氣懸浮粒子(zǐ)濃度劃分的級别。

    　　注2:也是笑可對影響潔淨度等級的其他(tā)因素,如(rú)空氣子懂中化學物、微生物或納米尺度粒子(zǐ)濃度等,以及影線亮響表面潔淨度等

    　　級的其他(tā)河機因素,如(rú)粒子(zǐ)、納米粒子(zǐ)、化學物或草你微生物濃度等,作出規定并進行控制。

    　　注3:溫度、濕度、壓力、振動和亮術靜電等相關的物理參數,也可按要求受控。

    　　3.1.2我線

    　　潔淨區 cleanz技事one

    　　空氣懸浮粒子(zǐ)計數濃度受控并草事分級的限定空間。其建造和運行使進入、産生山明和滞留于空間的粒子(zǐ)受控。

    　　注1:空氣費校懸浮粒子(zǐ)濃度的級别已确定。

    　　注2:也南一可對影響潔淨度等級的其他(tā)因素,如(rú)空氣中化學物、微生物或納米尺度紅空粒子(zǐ)濃度等,以及影響表面潔淨度等

    　　級的其他(tā)因素,如(rú)粒子(匠工zǐ)、納米粒子(zǐ)、化學物或微生物濃度等,作出規定并進行控制。

    　　注3:潔淨區可以是限定于潔淨室内的空間,也自生可用隔離裝置實現。隔離裝置既可設在潔淨室内也可在潔淨室外。

    　　注4:溫度場員、濕度、壓力、振動和靜電等相關的物理參數,也可按要求受控。

    　　3.1.3不湖

    　　設施 instalation

    　　連同所有相關構築物、體書空氣處理系統、供給和公用設施的潔淨室或一個、多睡公個潔淨區。

    　　3.1.4

    　　分級 cla票動ssification

    　　按技術要求評定潔淨室或潔來慢淨區潔淨度水平的方法。

    　　注:潔淨度水平應以IS多吧O 等級濃度來描述,它代表單位容積空氣内最生子大(dà)允許粒子(zǐ)濃度。

    　　3.2空氣懸浮粒子(zǐ)窗務

    　　3.2.1

    　　粒子(zǐ) particl西煙e

    　　具有規定物理邊討司界的微小(xiǎo)物質。

    　　3.2.2

    　　粒徑 particlesi得銀ze

    　　給定粒徑測定儀測得(de)的、與理們被測粒子(zǐ)響應量相當的球體直徑。

    　　注:光散射離散粒子(男制zǐ)計數儀給出的是光學等效直徑。

    　　3.2.3

    　　粒子(zǐ)濃度 particleco費劇ncentration

    　　單位體積空氣中說劇粒子(zǐ)的個數。

    　　3.2.4

    　　粒徑分布 par子聽ticlesizedistribution化答

    　　以累積分布表鐵不示的粒子(zǐ)濃度與粒徑的函數關系。

    　　3.2.5

    　　大(dà)粒子(zǐ) macropa校舊rticle

    　　當量直徑大(dà)于5&匠村amp;mu;m 的粒子(zǐ)。

    　　3.2.6

    　　M描述符 Mdescrip街低tor

    　　實測或規定的每立方米空氣中大我志(dà)粒子(zǐ)濃度,其中的當量粒徑與測量方法照信有關。

    　　注:M 描述符可視作采樣點花鐵平均值的上限。不(bù)能用M 描述符表示ISO 潔淨度新雨等級,但 M 描述符可以單獨引用或與ISO 潔淨相站度等級一起引用。

    　　3.2.7

    　　單向流 unidirectionalai唱錢rflow

    　　通(tōng)過潔淨室或潔淨區整個斷費兵面,風速穩定且平行的受控氣流。

    　　3.2.8

    　　非單向流 non-unidirec訊劇tionalairflow

    　　潔淨室或潔土北淨區的送風以誘導方式與室内空氣混合的氣流分布。

    　　3.3占用狀态

    　　3.3.1

    　　空态 as-built

    　　潔淨室或潔淨區所有服務設施就位近從并運行,但無設備、家(jiā)具、材料和人員的在呢狀态。 3.3.2

    　　靜态 at-rest

    　　潔淨秒來室或潔淨區建成且設備就位,按議定的方式運船相行,但無人員在場的狀态。

    　　3.3.3

    　　動态 operati員黃onal

    　　潔淨室或潔淨區設施按議服林定方式運行,且有規定數量的人員按議定方式工(gōng)作的狀态。

    　　3.4 檢測儀器(qì)

    　　3.4.1

    　　分辨率 re草師solution

    　　可被測量的最小(x微歌iǎo)變量,即在相應顯示中産生的、可辨認的變化。

    　　注:噪聲(内、外部)或摩擦等因黑男素可決定分辨率,被測的量值也可決定分辨率。

    　　[來源:I計舞SO/IEC Guide99:2007,4.14]

    　　3.4.2

    　　最大(dà)允許測量誤差 m站厭aximum permissibleme微草asurement error

    　　對一項具體測量、或對測量儀或測量系統,相對小讀于已知參照量值,技術條件或規範所允許的測量誤差極值。

    　　注1:在有兩個極限值時(shí),通(腦做tōng)常用術語“最大(dà)章要允許誤差”或“醫離誤差限值”予以區分。

    　　注2:&ld睡林quo;公差”不(bù)可用于表示&ld知農quo;最大(dà)允許誤差”。

    　　[來源:ISO/IEC G爸章uide99:2007,4.26]

    　　3.5儀器(qì)好遠規格

    　　3.5.1

    　　光散射(離散式)空氣懸浮粒子(zǐ)計師照數器(qì) light scattering(discrete)airbo議煙rne particle counter; LSAPC

    　　依據粒子(zǐ)的光學等效直分遠徑,對空氣中單個粒子(zǐ)進行計數和測徑的儀女畫器(qì)。

    　　注:GB/T29024.4&a兒腦mp;mdash;2017給出了LSAPC 的規格。

    　　3.5.2

    　　離散大(dà)粒子(zǐ)計數器(qì) 妹日discrete-macroparticlecou什頻nter

    　　能夠對空氣中單問也個大(dà)粒子(zǐ)計數和測徑的儀器要舞(qì)。

    　　注:其技術規格能校見附錄F中表F.1。

    　　3.5.3

    　　飛行時(shí)間測金新徑儀 time-of-flightparticlesizi房可ngapparatus

    　　以粒子(遠微zǐ)适應風速變化的時(shí)間來測定其空氣動力學直徑路道的離散粒子(zǐ)計數、測徑裝置。

    　　注1:通(tōng)常借助光學方法測匠海量流體速度變化後粒子(zǐ)的移動時(shí)間。

    　　注2:其技術規格見表F.2。

    　　4分級

    　　4.1占用狀态

    　　應規定在&ldqu能志o;空态”&現拿ldquo;靜态”和謝劇“動态&rdq化還uo;的某種或某幾種占用狀态下(見3.3),對潔淨室或潔淨區按西分空氣中粒子(zǐ)濃度進行分級。

    　　4.2粒徑

    　　當按粒子(zǐ)濃度劃分空氣潔吧學淨度等級時(shí),範圍為(wèi)0.1μm~5&m黃拿u;m 的一個或幾個粒徑擋阈值(低(dī)值)。

    　　4.3 ISO等級藍費數

    　　按粒子(zǐ)濃度劃分的空氣潔到技淨度應标識為(wèi)ISO N 級。每員化個關注粒徑的最大(dà)允許濃度見表1。

    　　表1中不(bù)同很章粒徑阈值的粒子(zǐ)濃度數目僅作為(wèi)分級标準,并不(bù)反映空氣就市中真實的粒徑和數量分布。

    　　附錄B 什不中列舉了幾個分級計算實例。

    　　表1 按粒子(zǐ)濃度劃分的空氣潔淨到我度ISO級别

    　　4.4 表示麗綠方法

    　　潔淨室或潔淨區内懸浮粒子(zǐ)濃度的表議器示方法應包括:

    　　a) 以&日放amp;ldquo;ISO N 級&路歌;rdquo;表示的ISO 等級數;

    　　b) 分級時(shí)的占用狀态區兵;

    　　c) 關注粒徑事書。

    　　如(rú船日)果關注粒徑不(bù)止一個,較大(dà)粒徑草舞(D2)應至少是下個較小(xiǎo)粒徑(D1)的1.5 倍,即D2&近海amp;ge;1.5×D1。

    　　示例見表2。

    　　表2 關注粒徑示例表

    　　4.南藍5 非整數潔淨度等級和粒徑阈值

    　　當需要非整數等級,或整數朋場和非整數等級需要表1中未列出的粒徑擋時(照房shí),見附錄E。

    　　5 符合性的證明

    　　5.1 原則

    　　完成規定的檢測程序,并通作提供檢測條件和結果的相關文件,以此認證是否符合用戶規定的空氣潔淨度(ISO 等鄉區級數)要求。

    　　靜态和動态的分級通(tōng白紅)常依據風險評估情況每年進行。

    　　對潔淨室、潔淨區和隔劇信離裝置的監測,應按照GB/T25915.2&光微mdash;2021。

    　　注:設施配備了連續或頻會城繁監測粒子(zǐ)濃度和其他(tā)性能參數的儀器(q通喝ì)時(shí),若監測結果保持在規定的監測限值内,分近照級檢測時(shí)間間隔可以延長(cháng務為)。

    　　5.2 檢測

    　　附錄 A 中給出時喝了符合性檢測的基準方法,也可以指定其他(tā)至少具備同等準确性的方法和司們(或)儀器(qì)。如(rú)無規定或議木低定的替代方法,應采用基準方法。

    　　應采用校拿睡(xiào)準有效期内的儀器(qì)進行符合性認證檢測。

    　　5.3 懸浮粒子(zǐ)濃度計算照答

    　　按附錄A 完成檢白國測後,每個采樣點單次采樣量的粒子(zǐ)濃度(以每立方米的粒答很子(zǐ)數目表示)不(bù)應超過表1中相應粒鐘務徑的濃度限值或表E.1中相應粒徑的非整數等級的濃度限值。如(r的男ú)果在采樣點進行了多次采樣,濃度應取平吃訊均值并且平均濃度不(bù)得(de)超過表1或表E.費離1給出的濃度限值。非表列粒徑應由公式(E.1)計算得(de)出。

    　　為(wèi)确定ISO 等級,所有關注粒這南徑粒子(zǐ)濃度應采用相同方法檢測。

    　　5.4 檢測報告

    　　各潔淨室或潔淨區的檢測大舊結果均應記錄在案,以綜合報告形式提交,并說(shuō)明章風是否符合規定的按粒子(zǐ)濃度劃分的空氣潔淨度等級紙睡。

    　　檢測購拍報告應包括下述内容:

    　　檢測機構的名稱、地址和檢測完子南成的日期;

    　　本文件編号,如(rú) ;

    　　清楚地标明被測潔淨生行室或潔淨區的實際位置(必要時(shí)包括毗鄰的參照坐鐘區)及所有采樣點的坐标(宜附圖);

    　　規定的潔兵通淨室或潔淨區表示法,其中包括ISO 等級數、相關的占用狀态你又和關注粒徑;

    　　檢測方法的詳細說(shuō得不)明,包括與檢測有關的特殊條件或對檢測方法的偏離情況,及為多檢測儀器(qì)的型号标識和當前的校(xiào在器)準證書;

    　　檢測結果,含全部采樣點的市亮粒子(zǐ)濃度數據;

    　　如(rú)果大(dà)粒子(zǐ)的濃度湖能已參照附錄C 的說(shuō)明作了量化,相關的信息也應包含在檢測報告中有嗎。

    　　附 錄長購 A

    　　(規範性)

    　　按粒子(zǐ)濃度劃分空氣潔做亮淨度的基準方法

    　　A.笑知1 原理

    　　使用離散粒子(zǐ)計數亮哥器(qì)在指定的采樣點測定大(dà)于或等于規跳河定粒徑的空氣懸浮粒子(zǐ)濃度。

    　　A.2 儀器(qì)要間藍求

    　　A.化暗2.1 粒子(zǐ)計數器(qì)

    　　粒子(zǐ)計數聽用器(qì)應具有粒徑分辨能力,能顯示或記錄空氣中粒子(zǐ)數量和粒徑大刀匠(dà)小(xiǎo),可依據潔淨度等級,測村風定粒子(zǐ)合适粒徑範圍内總濃度。

    　　注:通(tōng)常用光散的水射(離散)空氣懸浮粒子(zǐ)計數器(qì)進行空氣潔文服淨度分級檢測。

    　　A.2.2 儀器(大子qì)校(xiào)準

    　　粒子(zǐ)很弟計數器(qì)應有有效的校(xiào)準證書,校(xiào)準頻輛遠度和校(xiào)準方法應符合GB/T 29024.船習4—2017的要求。

    　　注:某些粒子(zǐ湖答)計數器(qì)不(bù)能用GB/T29024.4—2算劇017所規定方法校(xiào)準。此情況下,檢測報告中應記錄使用該農低計數器(qì)的決定。

    　　A.3 粒子(z看離ǐ)計數檢測的準備工(gōng)作

    　　檢測前,确保理務潔淨室或潔淨區密封性相關的所有各項均已調試完成并按性能要求運行。

    　　宜注意潔淨室性能輔土錢助檢測的順序,檢測目錄見GB/T2591少車5.3。

    　　A.4 确定采樣點

    　　A.4.1 獲取采樣點數兒呢目

    　　最少數目采樣自木點NL 見表 A.1。

    　　表A.1 潔淨室南熱中采樣點數目與面積的關系

    　　A.4.2 确定采樣業年點位置

    　　按以下步驟确定采樣點中還位置:

    　　在表A.1 查到最小(x遠為iǎo)采樣點數目 NL ;

    　　将整個潔淨室或潔淨區分又鐵成面積相等的NL 個區域;

    　　在每個區域選擇一個具有代表生術性的位置作為(wèi)采樣位置;

    　　在每車是個采樣位置上,将粒子(zǐ)計數器(qì)空站的探頭置于工(gōng)作面高度或其他(tā)指定位置。

    　　關鍵位置處可增加采樣點,其數量和位我好置也應商定并說(shuō)明。

    　　增加的采樣區域及其相應采樣點可舊一計算在總采樣點數内,以便将潔淨室或潔淨區劃分為(wèi)相等采樣區域。

    　　非單向流潔淨室或潔淨區中,位于無擴散裝置的火文送風口正下方的采樣點不(bù)具有代表性。

    　　A.4.3 商我大(dà)型潔淨室或潔淨區的采樣點

    　　當潔淨室或潔淨區的面積大如司(dà)于636 m2時(shí),應按公式(A.1)算出最小關影(xiǎo)采樣點數目。

    　　A.4.4 确定單次采樣量慢員和各點的采樣時(shí)間

    　　所選數靜最大(dà)粒徑的粒子(zǐ)濃度恰好(hǎo)為(wèi)規定的ISO 級别自輛上限時(shí),在各采樣點所采的空氣量足以檢測到坐也至少20個粒子(zǐ)。

    　　每個采樣點的單次采樣量VS,按公式(A.2說務)計算。

    　　每一采樣點的采樣量至少為(wè月他i)2L,每一采樣點單次采樣的最小(xiǎo)采樣時(shí)間為(林又wèi)1 min,每一采樣點的每次采樣量應一緻。

    　　當VS見區 很大(dà)時(shí),所需采樣時(shí腦就)間較長(cháng)。此時(shí)可采用序月有貫采樣法(見附錄D)以減少所需的采樣量及朋老采樣時(shí)間。

    　　A.5體哥 采樣步驟

    　　A.5舞務.1 依據産品說(shuō)明書調整粒子(zǐ)計數器(qì)(見票暗A.2),包括零計數率校(xiào)核。

    　　A.5.2頻吧 采樣探頭應放置在朝向氣流的方向。被采樣氣流方向是多事不(bù)可控制或不(bù)可預測時(shí)(例如(rú)非單向氣流),采樣唱看探頭的開(kāi)口應垂直向上。

    　　A.5.3 确定采樣前所選師歌定的占用狀态已達到規定條件。

    　　A.5.4 按 A.4.4中規定的每這和個采樣點單次最小(xiǎo)采樣量進行采樣。

    　　A.5.5 某個采樣點發現非正常情況引靜兵起的異常計數時(shí),經驗明後可以剔除該計數并在檢測報告中予哥秒以說(shuō)明,然後重新采樣。

    　　A.5.6 某個采樣點的不(b木東ù)合格計數是由潔淨室或設備的技術故障引起時(shí),宜上西查明原因,采取補救措施,并對該點及其周圍相鄰點或受其影響都他的其他(tā)采樣點進行複測。此情況應清楚地記哥外錄并說(shuō)明合理性。

    　　A.6 結果處理

    　　A.6.1 結果記錄

    　　記錄那坐每次采樣測量的結果,即相應ISO 空氣潔淨度等問書級所關注粒徑的每個單次采樣量中粒子(zǐ)數。

    　　注:對于帶廠門有濃度計算模式的粒子(zǐ)計數器(qì),黃鄉無需手動計算。

    　　A.6.1公個.1 每個采樣點的平均粒子(zǐ)濃度

    　　在某個點進行兩次及以上遠要采樣時(shí),依據各單次采樣的粒子(zǐ)這雪濃度,按公式(A.3)計算并記錄該點關注粒徑的平均粒子(zǐ們劇)數目。

    　　A.6.1.2 單位立物山方米粒子(zǐ)濃度

    　　單位立方米粒子(zǐ)濃度按公式(A.4)議個 計算。

    　　A.6.2 結果說(shuō)明

    　　A.6.2.1 分級票體要求

    　　每一采樣位置測量的粒子(zǐ)濃她也度(粒/m3)均不(bù)超過表1 規定的濃什愛度限值時(shí),判定所測潔淨室或潔淨男鐘區符合規定空氣潔淨度級别要求。

    　　使用附錄E 所述的非整數潔東說淨度等級或其他(tā)非規定測試粒徑時(shí),宜使用表E.1或公式(E.光公1)确定适當限值。

    　　A.6.2.2 不(bù)合格的異答南常結果

    　　對不(bù)合格計數的情形,應進畫我行調查。檢測報告中應注明調查結果和所采取的補救措施(見5.4)。

    　　附 錄 B

    　　(資(zī)料性)

    　　等級現算劃分計算實例

    　　B.1 示例1

    　　B.1.1 某個潔東身淨室占地面積18 m2,規定潔淨度級别為(wèi)動态也就ISO5 級。使用采樣流量為(wèi)28.3L/報相min的離散粒子(zǐ)計數器(qì)進行分級測試。2器又 個關注粒徑分别為(wèi):D≥0.3μm對通 和D≥0.5μm。

    　　查表 A.1,采姐少樣點數NL 為(wèi)6。

    　　B.1.2 從表1查頻懂得(de)ISO5級的粒子(zǐ)濃度限值為(wèi):

    　　B.1.3 用公式(A.2林你)可計算出所需的單次采樣量為(wèi):

    　　算得(de)的單次采樣量為(wè做冷i)5.68L。由于所使用的離散粒子(zǐ)計數器(qì)每分行上鐘(zhōng)的采樣流量是28.3L/min,采樣1計厭 min的采樣量符合要求(見A.4.4),所以每次采樣的采樣量定為民月(wèi)28.3L。

    　　注:在A.4.要的4 中,通(tōng)過如(rú)上所述的步驟計算最小(xiǎ新鐘o)采樣量,然後确定粒子(zǐ)計數器(qì)運行1 min報暗 對應的采樣量。每個點的采樣至少持續1 min;當1 mi哥船n内的采樣足以滿足最小(xiǎo)采樣量要求時(s城農hí),則1 min 到後可結束采樣。 會秒當所用儀器(qì) 1 min内的采樣量不(bù)足以技門滿足最小(xiǎo)采樣量要求時(shí)物舞,需以分鐘(zhōng)(min)為(wèi快玩)單位繼續采樣且至滿足最小(xiǎo)采樣量要求為(wèi)止。拿湖由于有幾種不(bù)同采樣流量的粒子(zǐ)計數器(qì樹西),在此提醒使用者,在确定采樣時(shí)間既畫分滿足1 min 要求也滿足計算的最小(x什器iǎo)采樣量時(shí),核對所用具體儀器(qì紅村)的采樣流量。

    　　B.1.4 每個點隻進行一次采拍的樣。在每個采樣點處各個粒徑對應的每立方米粒子(z有兵ǐ)數目xi 的計算如(rú)表B.1和表B.2所示。

    　　表 B.1 ≥0見好.3 μm 粒子(zǐ)的采金樹樣數據

    　　表 B.2 &數那amp;ge;0.5 μm 粒子(zǐ)的采樣數據

    　　B.1.5 如(r藍這ú)表B.1和表B.2所示,D≥0.5μm金制 粒子(zǐ)的每一個濃度值都小(xiǎo)于102在音00個/m3 的限值,D≥0.5μm的每一個濃度值快麗都小(xiǎo)于3520 個/m3 的限值;因此該潔淨裡下室按粒子(zǐ)濃度劃分的空氣潔淨度達到所要求商區的ISO 等級。

    　　B.2 示例2

    　　B.2.1 某個潔淨室占地面輛去積9 m2,潔淨度級别規定為(wèi)動态ISO3 級,使用采樣流訊間量為(wèi)50.0L/min的離散粒子(zǐ)計作吧數器(qì)進行分級測試。關注粒徑隻有一個(D&區公;ge;0.1μm)。

    　　查表 A.1,采樣點數NL 取5。

    　　B.2.2 從表1 查得(de照裡)ISO3 級對應≥0.1&近村amp;mu;m 的粒子(zǐ)濃度限值為(wèi):

    　　B.2.3 從公式(A.2)可算腦相出單次采樣量要求為(wèi):

    　　計算得(de)出的單次采樣量為(wèi玩得)20.0L,因此所使用的50.0L/min的離散粒子(zǐ)計數器(qì)又做采樣1 min 的采樣量符合要求(見 A.4.4)。所以50.0L 即作為(草拿wèi)每個單次采樣的采樣量。

    　　B.2.4男時 在每個采樣點隻采樣一次。每個采樣點每立章一方米的粒子(zǐ)數目xi 的計算如(rú)表B.3 所示。

    　　表B.3 ≥0.1&坐明amp;mu;m粒子(zǐ)的采樣數據

    　　B.2.5 D&水都;ge;0.1μm 粒子(zǐ)的每個門站濃度值都小(xiǎo)于表1 中規定的1000 個/m3 的限值;因此該外行潔淨室按粒子(zǐ)濃度劃分的空氣潔淨度達到所要求的ISO 等級。

    　　B.3 示例3

    　　B.3.1 某一個潔淨和又室占地面積64 m2,潔淨度級别規定為(wèi)動态ISO說公5 級,使用采樣流量為(wèi)28.3L/min的離散粒子友數(zǐ)計數器(qì)進行分級測試。關注粒徑隻有一個大月(D≥0.5μm)。

    　　查表 A.1,采樣點數NL 取12。錢要

    　　B.3.2 從表1 查得(de)ISO5 火小級對應≥0.5μm 的農歌粒子(zǐ)濃度限值為(wèi):

    　　B.3公道.3 從公式(A.2)可算出所要求的單次采樣量為(wè姐月i):

    　　計算出的單次采樣量為(w女麗èi)5.68L。由于所用的28.3L/min 離散制雜粒子(zǐ)計數器(qì)1 min 的采樣量符合要求(見A.4.4),所自腦以将28.3L 即作為(wèi)每個單次采樣的采樣量。照訊

    　　B.3.4 在每個采樣點隻采樣一次開腦。每個采樣點每立方米的粒子(zǐ)數xi 的計算如(rú)表B.4近黃 所示。

    　　表 B.4 &還街ge;0.5 μm 粒子(zǐ)的采樣數據

    　　B.3.5 D=0.5μm 媽去粒子(zǐ)的每個濃度值都小(xiǎo)于表1 中規定的35地醫20 個/m3 的限值;因此該潔淨室按粒子(zǐ家物)濃度劃分的空氣潔淨度達到所要求的ISO 等級。

    　　B.4 示例長門4

    　　B.4有技.1 某個潔淨室占地面積25 m2,潔淨度級别規定為(wèi)動态I店森SO5 級,使用采樣流量為(wèi)28.3L/min 的離散粒一討子(zǐ)計數器(qì)進行分級測試。關注粒徑人湖隻有一個(D≥0.5&mu廠工;m)。

    　　查表 A.1,采樣點數NL 取7。高理

    　　B.4.2 從表1 查匠司得(de)ISO5 級對應≥0視學.5μm 的粒子(zǐ)濃度限值為(wè窗木i):

    　　B.4.3 從公式去厭(A.2)可算出所要求的單次采樣量為(wèi):

    　　算出的單次采服制樣量為(wèi)5.68L。由于所用的28.3L/min 離散粒子(z藍水ǐ)計數器(qì)1 min 的采樣量符合要求(見A.4銀商.4),所以将28.3L 即作為(wèi)每個單次采樣的采熱吧樣量。

    　　B.4.4 查表A.1熱關,采樣點數NL 取7。但在本例中,客戶和供應商商定另外增加那也3個采樣點,總共10個。

    　　每個點進行的單次采樣次數為(wèi路時)1次~3次。

    　　B.黃就4.5 由于記錄的原因,每個采樣點每立方米公暗的粒子(zǐ)數(濃度)xi 将以每個點單位采樣量(28.3L爸司)的平均計數(28.3×35.3)進行計算畫和,如(rú)表B.5所示。

    　　表B.遠媽5 ≥0.5μm粒子(zǐ)的采樣數據

    　　B.4.6 在4 号采樣點,采樣的平均濃謝匠度4165 個/m3 超出了ISO5 級限值3520(個/遠票m3 )。 在3 号和9号采樣點,盡管這兩點的平均粒子(zǐ)濃度符合表1中從作規定的限值,但是每個點各有一次采樣的粒子(zǐ)濃度數物熱據超出了表1中所規定的限值。由于4号采樣點的粒子間又(zǐ)濃度不(bù)符合潔淨度要求,因此該潔淨室按粒子(zǐ開公)濃度劃分的空氣潔淨度未達到所要求的IS可腦O 等級。

    　　B.5 示例5

    　　B.5.1 某個潔淨室占地面積10.7話資 m2,潔淨度級别規定為(wèi)動态ISO7.5級,使用們員采樣流量為(wèi)28.3L/min的離散粒子(zǐ)計數器(qì)進東店行分級測試。 關注粒徑隻有一個(D≥0.5μm請民)。

    　　查表 A.1,采樣點數N近懂L 取6。

    　　B.5.2 從表E.1查得舊月(de)ISO7.5級的粒子(zǐ)濃度限值為(wèi):長但

    　　B.5.3 從公式請算(A.2)可算出所要求的單次采樣量為(wèi):

    　　算出的單次采樣量信員為(wèi)0.01799L。由于所用的28.問藍3L/min離散粒子(zǐ)計數器(qì)1min的采能日樣量符合要求(見A.4.4),所以将28.3L 即作為(wèi)每個單次采樣綠什的采樣量。

    　　B.5.4 每個點我樂進行的單次采樣次數為(wèi)1 次~3 次。每如物個采樣點每立方米的粒子(zǐ)數(濃度)xi 的計算如國人(rú)表B.6所示。

    　　表 B.6 &am睡化p;ge;0.5 μm 粒子(zǐ草路)的采樣數據

    　　B.5.5 在4 号采是林樣點,第三次采樣的濃度1222507 個/m3 (34632 &am樹睡p;times;35.3)超出了ISO7.5開煙 級限值1110000(個/m3)。可是并不(b上件ù)要求每個單次采樣的粒子(zǐ)濃度都符合表1 中所規定的限值員畫。由于各采樣點的平均粒子(zǐ)濃度要符合表1中所規定的限值要求友放,因此該潔淨室按粒子(zǐ)濃度劃分的空氣潔淨子雜度達到所要求的ISO 等級。

    　　附 錄 C

    　　(資(zī)料性)

    　　懸浮大(dà)粒子(zǐ)的計數和測兒船徑

    　　C.1 原理

    　　某些情況下,特别是與特定的工(gōng)通問藝要求有關的情況下,可依據表列等級粒徑範資暗圍之外的粒子(zǐ)總體,規定空氣潔淨度。用戶和供應商應就這類粒錯玩子(zǐ)的最大(dà)允許濃度和驗證的檢測公站方法等問題達成一緻。C.2中給出了有關檢測方法生好的要點以及規定的技術表述格式。

    　　C.2 大(d可雨à)于5μm粒子(zǐ)(大(業舞dà)粒子(zǐ))——&md熱西ash;M 描述符

    　　C.2.1 應用

    　　如(rú)果要評定大(d那行à)于5μm 的粒子(zǐ)造成的污染風險,宜采用适合子關于這類粒子(zǐ)具體特性的采樣裝置和測量程序。

    　　阈值粒徑分布在5&上紙amp;mu;m~20μm 的懸浮粒子(zǐ)濃度的看內測量,可在三種規定狀态(空态、靜态和動态)下進行。

    　　空氣志我懸浮粒子(zǐ)總體中的大(dà)粒子(草新zǐ)主要是工(gōng)藝環境中釋放出厭亮的粒子(zǐ)。宜根據具體的應用情況來确定适用的采樣裝置和測量程序。需坐司要考慮的因素有粒子(zǐ)的密度、形狀、體積和空氣動力學特性,也有說空可能需要側重于整個懸浮粒子(zǐ)總體中如(rú)纖維等的特殊成高暗分。

    　　C.2.2 M 描公廠述符的格式

    　　描述符既可單獨引用大時,也可當作按粒子(zǐ)濃度劃分的空氣潔淨度級别的下船補充信息。

    　　描述符的格式表示為(wèi):務校 “ISO M(a;b);c”

    　　其中:

    　　a&mdas房城h;—— 大(船東dà)粒子(zǐ)的最大(dà)允許濃度(以每立方米中大(dà)粒子(zǐ)作女數目表示);

    　　b&a工熱mp;mdash;—— 與測量大(開高dà)粒子(zǐ)的規定方法相關的當量直徑(或直徑)(以微米玩月表示);

    　　c—&土姐amp;mdash;— 規定的測量方法。

    　　示例1:使用光散少司射塵埃粒子(zǐ)計數器(qì)(LSAPC)進行測在腦量,粒徑範圍為(wèi)≥5&m現習u;m 的懸浮粒子(zǐ)濃度為(wèi)29p/m3 ,則行和其描述符寫為(wèi)“ISO M(29;&雨月ge;5μm);LSAPC車銀”。

    　　示例2:使用氣溶膠粒子分紙(zǐ)飛行時(shí)間計數器(qì)測定粒子(zǐ)的空氣動力學直徑店花,粒徑範圍為(wèi)>10μm 的懸浮粒子(zǐ)濃度新農為(wèi) 2500p/m3 ,則其描述符寫為(wèi)&路聽ldquo;ISOM(2500;≥10&am樂內p;mu;m),氣溶膠粒子(zǐ)飛行時(shí)間計數器(qì件什)”。

    　　示例3:使用串級撞擊取樣器些市(qì),然後再用顯微法測徑并計數,粒徑範圍為(wèi)1著們0μm~20μm 的懸浮粒子爸議(zǐ)的濃度為(wèi)1000p/m3 ,則其描述符寫為(wèi)&am科厭p;ldquo;ISO M(1000;10&m如美u;m~20μm),串級撞擊器(qì)你南,顯微法測徑并計數”。

    　　注1:如(rú)采樣的懸浮理中粒子(zǐ)中含有纖維,則可以向 M 描述符增加一個單獨的纖維描述符,飛開表示格式為(wèi)“Mfiber(a民問;b;);c”。

    　　注2:IEST-G-C少理C1003[4]中給出了檢測大(dà)于5μm 懸浮粒子(就從zǐ)濃度的合适方法。

    　　C.3 懸浮大(dà)粒子(z山分ǐ)的計數

    　　C.3.1 原理

    　　這些檢測方法表述了如(rú)何對粒徑著輛阈值大(dà)于5μm 的粒山窗子(zǐ)(大(dà)粒子(zǐ))進行測照醫量。C.3 中所述的測量步驟引自IEST-G-信作CC1003:1999[4]。測量可在潔淨室或潔淨區的空态、靜态或動雨美态中的任意狀态下進行。

    　　測量是為(wèi)了确定兒藍大(dà)粒子(zǐ)濃度,5.1,5.行生2和5.4的原則可适用。要強調樣本的采集和處理要得(de)當,以盡們知量減少樣本中大(dà)粒子(zǐ)的損失。

    　　C.3.2 通(tōng)則

    　　采樣點數量、位置選擇和答街所需的數據量宜符合表 A.1中的要求。對于家學大(dà)粒子(zǐ)的最大(dà)允許濃很白度、顆粒的當量直徑和測量方法的指定,客戶和供應商紅西宜達成一緻。也可根據客戶和供應商之間的協議,使用其他(tā)去笑能提供等效數據和等效精度的方法。如(rú)果沒有其他(tā跳相)議定的方法,或在有争議的情況下,宜使用本附錄中的基準方法。

    　　C.3嗎山.3 樣品處理注意事項

    　　當處置大理線(dà)粒子(zǐ)時(shí),需要當心樣本水能的采集和處理。IEST-G-CC1003:1999[4志志]中,對未用等動力采樣或非等動力采樣将粒子鄉空(zǐ)輸送到測量點的系統方面的要求有完整的呢員述說(shuō)。

    　　C.3.4 大(dà)粒子(zǐ)的火生測量方法

    　　大(dà)粒房藍子(zǐ)的測量方法有兩大(dà)類。不(樂白bù)同的測量方法所得(de)到的結果不(bù)能比較。同樣,不(bù)同少算方法之間也不(bù)存在相關性。C.3.4.1和C.3.4文謝.2中對不(bù)同方法以及相應方法下的粒花們徑信息作了概述。

    　　C.3.4.1 原位測白紅量

    　　使用粒子(zǐ)飛行時(sh學技í)間計數器(qì)或光散射粒子(zǐ)計數器睡費(qì)(LSAPC)對大(dà)粒子(坐校zǐ)的濃度和粒徑進行原位測量:

    　　a) LSAPC 測量(C.4.少雪1.2)給出的大(dà)粒子(zǐ)粒徑依據的是其當量光學直徑;

    　　b) 粒子(zǐ)飛行時(shí)間計數器司筆(qì)測量(C.4.1.3)給出的大(dà藍是)粒子(zǐ)粒徑依據的是其空氣動力學直徑。 C.3.4.2 愛很采樣

    　　用過濾或慣性效應進行粒子(zǐ)采集子門,然後用顯微鏡測量所采集粒子(zǐ)的數量和尺寸:

    　　a) 過濾器(qì)采集加顯微測量(C.4老志.2.2)測出的大(dà)粒子(zǐ)是以商定粒徑為(wèi)準的;

    　　b) 串級撞擊器(qì)采集加顯微測量(C用唱.4.2.3)測出的大(dà)粒子(zǐ業錢)是以所選的報告粒徑為(wèi)準的。

    　　C.4 大(dà)粒子(zǐ)的測車低量方法

    　　C.4.1 無粒子(zǐ)采公低集的大(dà)粒子(zǐ)測量方法

    　　C.4.1.河相1 通(tōng)則

    　　不(bù)從空氣少身中采集的粒子(zǐ)也能測量大(dà)粒子(zǐ)。此過程包括對懸來頻浮在空氣中的顆粒的光學測量。空氣樣本以特定流時討率通(tōng)過光散射粒子(zǐ)計數器(qì)空紙(LSAPC)時(shí),該儀器(qì)可測量粒子(zǐ)的光件動學當量直徑或其空氣動力學直徑。

    　　C.4但船.1.2 光散射粒子(zǐ)計數器(qì)(L嗎日SAPC)測量

    　　使用LSAPC測量大畫費(dà)粒子(zǐ)與附錄A 中懸浮粒子(z公船ǐ)計數測量的程序相同,僅有一點例外。例通黃外的是因隻測大(dà)粒子(zǐ)的數據,所以在此情況下對LSAPC 照紅粒徑小(xiǎo)于1μm 的粒子(zǐ)沒了票有靈敏度要求。 需要注意确保在每一采樣點上LSAPC空自 都是直接對空氣進行采樣的。LSAPC 的票南采樣流量不(bù)小(xiǎo)于28.3L/min多了 且宜配備在單向流區域中進行等動力采樣的探頭尺寸。在非單向流區域,采樣探頭入從農風口垂直向上。

    　　采樣探頭宜選擇能風中在單向流區域進行近似等動力采樣的探頭。如(rú)不(bù)能滿足此條件,則采樣答麗探頭的入風口朝向氣流的主要方向;在氣流不(bù)受控或不(bù)可預測的區域(不哥如(rú)非單向流),采樣探頭入風口垂直向上。采樣探事器頭與LSAPC 傳感器(qì)之間的連接管長(ch作大áng)度越短(duǎn)越好(hǎo)。采集對于媽城粒徑≥1μm 粒子(zǐ)多可的樣本,采樣管的長(cháng)度和直徑不(bù)宜超過生産廠說煙商建議的尺寸,其長(cháng)度一般不(bù)超過1 m不數。

    　　宜盡量減少因大(dà)粒子(zǐ)損失西信造成的采樣系統采樣誤差。

    　　将LSAPC 的粒徑範制車圍設置為(wèi)隻檢測大(dà)粒子(zǐ),同時(shí)還宜記錄一個紅長粒徑

    　　C.4.1.3 飛行時(shí)間粒徑測可呢量

    　　測量大(dà)街就粒子(zǐ)的尺寸可用飛行時(shí)間測定內請儀。空氣樣本被儀器(qì)吸入後,經噴嘴在半真空的測量區膨脹志坐加速。在測量區内,空氣樣本中的任何粒子(zǐ)都會(huì)劇事和空氣一起被加速。粒子(zǐ)的加速度與其質量成反比。在測量點處利用空腦低氣流速和粒子(zǐ)速度間的關系,可用以确定粒子(zǐ)的空唱物氣動力學直徑。知道測量區的壓力和周圍環境空氣的壓力差,就可直接計算出空氣流速雜亮。粒子(zǐ)速度則是通(tōng)過其在兩木不束激光之間的飛行時(shí)間确定的。 飛行時(s章自hí)間測定儀可測量的空氣動力學直徑至20μm,呢銀樣本采集方法與使用 LSAPC測量大(dà)粒子(zǐ)的現醫方法相同。另外,确定報告的粒徑範圍,該儀資木器(qì)也采用與LSAPC 同樣的方法。

    　　C.4.2 有粒子(zǐ)采集的大(東近dà)粒子(zǐ)測量方法

    　　C.4.2行討.1 通(tōng)則

    　　可從空氣中采集粒子(zǐ)進行訊人大(dà)粒子(zǐ)測量。空氣樣本以規定的流量傳送到收集裝置中。使用顯微媽弟分析法對收集的粒子(zǐ)計數。

    　　注:也可測定所采集的粒子(zǐ)山爸的質量,因為(wèi)空氣潔淨度是按數量濃度決厭間定的,所以本文件不(bù)涉及此項。

    　　C.4.2.2 過濾熱報器(qì)采集和顯微測量

    　　選擇一種膜過濾器(qì)及夾具或一個預遠人組裝的氣溶膠監測儀;膜宜使用2μm購農 或更小(xiǎo)孔徑的。 在過濾器(qì)支架上貼機音上标簽以識别支架位置及設施。将出口與真空相連并按所需流文喝量吸出空氣。如(rú)果大(dà)粒子(zǐ)的采樣點兵相是在單向流區域,宜按滿足膜過濾器(qì)或氣裡大溶膠監測儀入風口的等動力采樣,且入口面向單向流。

    　　使用公式(C.1)确定所需的采樣吃問量。

    　　從過濾器(qì)夾具上或河子氣溶膠監測儀上取下蓋子(zǐ)并存放在潔淨處。在客戶和供應商議定的采樣點上是訊進行空氣采樣。如(rú)果使用便攜式真空泵将空氣抽通(tōng)過薄膜過濾器女物(qì),泵的排氣宜經過一個合适的過濾器(qì)後排放看鐵或者排放到潔淨設施外。采樣完成後,将&l器年dquo;濾膜夾”或氣溶膠監測儀的場呢蓋子(zǐ)蓋回原位。樣本夾具的運輸方式宜使濾膜在任何時(shí)候都保持喝他在水平位置,且樣本從捕獲到分析的時(shí)間段内,不(b姐空ù)會(huì)受到振動或沖擊。對過濾器(qì場林)表面的顆粒進行計數(見 ASTM F312-08[那費3])。

    　　C.4.2.3 用串級撞擊器就算(qì)采集和測量

    　　在串級撞擊器(qì)中海老通(tōng)過粒子(zǐ)的慣性碰撞實妹些現粒子(zǐ)的分離。采樣氣流通(tōng)過一系列孔徑漸小(xiǎo)的噴資上嘴,較大(dà)的粒子(zǐ)直接沉積在最大(dà)孔徑之下,較小(x家爸iǎo)的粒子(zǐ)則逐次沉積在撞擊器(qì)的各級。空氣動力學友們直徑直接與沖擊流路中粒子(zǐ)采集區域相關。

    　　此種類型的大雜民(dà)粒子(zǐ)采集和計數的串級撞擊器(qì),可用于這月按粒子(zǐ)濃度劃分的空氣潔淨度測量。在此情況下,粒子間山(zǐ)光沉積在可移動闆的表面上,随後可進行顯微鏡檢測。這種串級開草撞擊器(qì),通(tōng)常使用0.47L/s或更大員爸(dà)的采樣流量。

    　　C.5 大(dà)粒子(zǐ)計數步驟

    　　測定客戶和供應商所商定粒報靜徑範圍粒子(zǐ)濃度“ISO M拍水(a;b);c”,并報告數據。

    　　在每個采樣點,空氣請微采樣量保證至少能檢測出選定粒徑粒子(zǐ)濃度限值内所需的20顆粒子(zǐ秒不)。

    　　每個采樣點報雪的單次采樣量VS 由公式(C.1)确定。路銀

    　　如(rú)需要大(dà)粒子(zǐ)短森濃度的穩定性信息,以客戶和供應商之間約定的時(shí從就)間間隔,在選定的位置進行三次或

    　　更多次的測量。

    　　放置好(hǎo)所選儀器(qì)的采樣探頭快跳并進行試驗。

    　　C.遠厭6 大(dà)粒子(zǐ)采樣的檢測報告

    　　檢測報告記錄下列檢測信息和數據:

    　　儀器(qì)對個海粒子(zǐ)尺寸産生響應的定義;

    　　測量方就放法;

    　　M 描述符器河作為(wèi)ISO 級别的補充說(shuō)明,其水平白文或限值的測量方法; d) 所用的每個檢測儀票慢和設備的型号和校(xiào)準狀态; e)火冷 設施的ISO 等級;

    　　大(dà)粒子(zǐ飛人)粒徑範圍和所記錄各粒徑範圍的數量;

    　　儀器(qì)入風口采房北樣流量和通(tōng)過傳感器(qì)的流那弟量;

    　　采樣點又低位置;

    　　分級采樣方案或檢測采樣方案;

    　　占用狀态;國鄉

    　　與測量有關的其他(tā)數個關據,如(rú)大(dà)粒子(zǐ)濃度的穩定新醫性。

    　　C.7 用大(d物水à)粒子(zǐ)描述符說(shuō)明ISO5級潔淨室中粒資年徑≥5μm的粒子(zǐ)

    　　用LSAPC 測量粒徑&a東兵mp;ge;5μm 懸浮粒子(zǐ)的草金濃度為(wèi)29p/m3,其表述形式為(wèi)&ldquo都能;ISO M(29;≥5μm); LS亮子APC”,為(wèi)20p/m3的身 時(shí),其表述形式為(wèi)“ISO M(近時20;≥5μm);LSA腦做PC”(見表1,腳注f)。

    　　附錄 D

    　　(資(zī)料性)

    　　序貫采樣法

    　　D.1 背景和局限

    　　D.1.1 背景

    　　對于某些以很低(dī)喝國的粒子(zǐ)濃度限值進行潔淨度分級的潔讀文淨受控環境,序貫采樣是非常适用的技術,它可減少采樣量和采樣時妹子(shí)間。序貫采樣技術可以測量計數速率并可能預拍鄉測出符合或不(bù)符合ISO 等級要求。如森黑(rú)果被采空氣明顯地好(hǎo)于或明顯地差于規有舊定級别關注粒徑的濃度限值時(shí),序貫抽樣公雨法通(tōng)常可大(dà)幅度減少采樣量和采樣時(shí)間。

    　　即使濃度接近規定限值技音的,也有一定作用。序貫采樣法最适合于空氣潔淨度期望達到ISO4級或更報路好(hǎo)的潔淨環境,也适用于關注粒徑的笑視粒子(zǐ)濃度限值很低(dī)時(shí)又笑的潔淨度級别。這種情況下,可能需要很大(dà)的采樣有畫量才能測到所預期的20顆粒子(zǐ)計數。

    　　注:有關序貫采樣法的更多資(zī光讀)料,見IEST-G-CC1004[5]或JISB99時慢20:2002[6]。

    　　D.1.2些月 局限

    　　序貫抽樣法輛報的主要局限有:

    　　a) 事明隻有當最大(dà)粒徑粒子(zǐ)單次采樣的預期計數雜的

    　　D.2 土兵序貫采樣法的依據

    　　此方法基于實時(shí)累積粒子(z船樹ǐ)計數與參照計數值的比較。參照數值由上、下村照邊界限值的求值公式得(de)出公式(D.1)的公式(D.2)。

    　　根據公式(A.2),單次采樣拍從量VS 可按公式(D.3)計算。

    　　總采樣時(shí)間tt 計算見公式(D好快.4)。

    　　預期計數由公式(D.5筆嗎)确定。

    　　為(wèi)了東就便于理解,圖D.1給出了序貫采樣法的圖解。在每個點進行知自空氣采樣時(shí),計數中的粒子(zǐ)總數要與規定總采樣量相應比例體多工積的預期計數不(bù)斷進行比較。當計數中的粒子(zǐ)總數少于公藍相應預期計數的下限值Cpass時(shí),被采樣空氣達到的地指定等級或濃度限值要求,停止采樣。

    　　當計數大(dà)于預期計數的懂紙上限值Cpass時(shí),被測環境不(bù)符子舊合指定等級或濃度限值的要求,停止采樣。當實測計數值保持在上下限友著之間,采樣将持續到實測計數達到20,或者累積采樣量V 與最小(xi煙空ǎo)采樣量VS相同時(shí),此時(shí)預期計數成為(wèi)20。頻老

    　　在圖D.1中畫(huà)出了在采樣既未停了少止、實測計數也未達到20時(shí),實測計數值C 與預期計數E 快笑之間的關系。

    　　D.3 采樣規員月程

    　　圖D.1 繪制出公式(Dl.)和公式(北間D.2)設定的邊界線,這兩條邊界線在限值E=20 處大著截止,代表采集一個完整樣本所需的時(shí)間,而C=20則為(wèi)允長聽許的最大(dà)實測計數。

    　　圖D.1 按序貫采樣法合格與不(bù)合玩弟格的邊界線

    　　圖D.1中準确門司的畫(huà)出處在規定級别限值的空氣粒子(zǐ)濃度東西的預期值與實測計數值間的關系。對應于時(shí)間流逝的是計數預期值的增加。術制如(rú)果粒子(zǐ)濃度處于級别限值濃度,E=20代表的就是累積到全樣自友本采樣量所需的時(shí)間。

    　　依據圖D.1,是志序貫采樣法的步驟如(rú)下:

    　　a) 按操作時(shí)間記錄粒子(zǐ)謝高總數;

    　　b) 計算公式(D.5)中描器很述的預期計數;

    　　c) 如喝對(rú)圖 D.1 所示,繪制總計數與預期值之不爸間的關系; d) 比較計數與圖 D.1 中的上限和下民中限;

    　　e) 如(rú)果累積實測計數我答穿過上限,在該點停止采樣,認為(wèi)空氣不(懂體bù)符合規定的等級限值; f) 如(rú)果累積實測計數穿吃分過下限,在該點停止采樣,認為(wèi)空氣符合規定的服懂等級限值;

    　　g) 如(rú)果累積實測計數保我長持在上限與下限之間,采樣将繼續進行,如(rú)果在規定的采樣周期内,總計數達到雜在或小(xiǎo)于20,并且未穿過上限,則空氣符合指定級别的限值。

    　　D.4 序貫采樣示例

    　　D.4樂可.1 示例1

    　　a) 使用序貫采樣法評雨新估一個目标潔淨度為(wèi)ISO3 級(低會0.1μm,1000p/m3)的潔淨室。此方法可訊城以觀測計數速率,并預測是否符合要求。

    　　注:粒子(zǐ)計數器(qì)的采街湖樣流量為(wèi)0.0283 m3/min(28.拿土3L/min或0.47L/s)。

    　　b) 測量前的準備&熱不mdash;—&md煙用ash; 限值計算方法。

    　　表D.1列出了計算結果。首先,預期計數子物是通(tōng)過采樣時(shí)間進行計算的。其次,上行會限相關計數和下限相關計數是通(tōng)過公式(D.1)和公式街體(D.2),或圖D.1計算得(de)來的。

    　　表D.1 上限和下小數限相關計數的計算列表

    　　c) 使用序貫采樣法的計算。

    　　第一次測量時(shí)的預期相會計數為(wèi)2.4;當實測計數大(dà)于或等于7時(shí紙朋),結果判定為(wèi)“不(bù)問海合格”。然而,當該采樣周期的實測計數處在和了不6之間時(shí),不(bù)能對結果做出判定。這種情況下行姐将繼續采樣。随采樣的繼續,累積的實測計數會(huì)增加,直水吧至達到規定的單次采樣量或者實測計數穿越Cpass或新東Cfail兩條線中的某一條時(shí),才停止采樣。 如(雪吧rú)果在規定的采樣周期内,總計數達到或小(xi員業ǎo)于20,且未穿越上限,則空氣潔淨度級别測定結果判我草為(wèi)“符合&r車兒dquo;要求。如(rú)果在完整采樣周期結束前,累積實測計數小(高國xiǎo)于或等于Cpass的取整值,則此時(shí)停止采明章樣,級别測定結果判為(wèi)“符合&男關amp;rdquo;要求。

    　　D.4.2 示例2

    　　使用序貫采樣法對一個目标潔黑銀淨度為(wèi)ISO3 級(0.5μm,3近不5p/m3)的潔淨室進行評估。 粒子(z現這ǐ)計數器(qì)的采樣流量(Q)為(wèi)0.0283 m3/站厭min(28.3L/min或0.47L/畫日s)。

    　　根據公式(D.3紙作)計算單次采樣體積VS。

    　　根據公式(D.靜醫4) 計算總采樣時(shí)間tt 。這評估的是采樣點所需的最長(ch什道áng)采樣時(shí)間, 使用序貫采樣法可以縮短(duǎn)這個時(shí房錯)間。

    　　計算結果列表:

    　　1) 白他根據公式(D.5) 計算預期計數E ;

    　　2) 根據公式(D. .北街1) 和公式(D.2) 計算實測計數的上限和下限;

    　　3) 計算結果村月如(rú)表 D.2 和圖 D.2 所示。

    　　表 D.看近2 總采樣量、 預期計數、 上限和下限的計算結果

    　　在圖 D.2 中畫(huà)出了實測又銀計數的上下限與計數獲取時(shí)間之間的關系票國。其所在列表示的是在1 min 的時(shí)間間隔内的限值(上限離車和下限)。

    　　圖D.2 序貫采樣友海法中合格與不(bù)合格邊線圖形

    　　使用表D.3討文中的步驟對累積實測計數和上下限進行比較。

    　　a) 不(bù)合格要求的情形如(rú)表行黑D.3 所示。

    　　表 D.3 序貫采樣粒子(zǐ)計數舉報金例

    　　第一次測量時(shí)的預期計數的笑為(wèi)1.0;當實測計數大(dà)于或等于5時(shí),累積實吧也測計數判定為(wèi)“不(bù)合格&行銀rdquo;。采樣周期的觀察計數在和5之間時(shí),不(bù)能高近對結果做出判定。在本示例中,繼續采樣。隻要采樣繼樹討續,累積的實測計數就會(huì)增加。但是,由于預期計數和相關計數都農答在增加,所以很容易進行判斷。在第5次測量(t=300s)時(sh路不í),累積實測計數為(wèi)11,超過了上限值(會個10),于是判定為(wèi)“不(bù)合格雪靜”。

    　　b) 符合要求的情形如(rú)表D.4 所嗎相示。

    　　表 D.4 序貫采樣粒子友鐘(zǐ)計數舉例

    　　第一次測量時(sh謝可í)的預期計數為(wèi)1.0;當實測計數大(什離dà)于或等于5時(shí),累積實測計數判定為(wèi)&ldq拿明uo;不(bù)合格”。然而,當在這次采樣周河金期的觀察計數在和5之間時(shí),不(bù)能對結果做出判定。在本例中,做都繼續采樣,但是累積的實測計數并未增加。在第4 次測量(t=240s)時(shí市又),累積實測計數為(wèi)0,等于下限值(0),于是拍新結果判定為(wèi)“合格&議放rdquo;。

    　　附 錄 E

    　　(資(zī了們)料性)

    　　非整數潔一她淨度等級和粒徑阈值的說(shuō)明

    　　E.1 非整數潔外體淨度等級

    　　需要非整數少森潔淨度等級的宜使用表E.1。

    　　表E.1給出了子請所允許的非整數潔淨度等級。粒子(zǐ)測量上存在的不(bù)确定性使得(de)來白級别增加不(bù)宜低(dī)于0.5,表中的腳注說(shuō)明現個了由于采樣和粒子(zǐ)采集的局限性而帶來的限制條件。

    　　表E.1 粒子(zǐ)濃度的非整離劇數潔淨度等級

    　　表中所高化有濃度都是累積濃度,例如(rú)ISO5.5商體 級,0.5μm 粒徑的11100 顆中,包括所有粒徑大(dà)懂能于或等于該粒徑的粒子(zǐ)。

    　　對這些濃度需進行少姐大(dà)量的空氣采樣才能用于分級。可以使用序貫采樣法;見附錄會草D。

    　　由于粒子(zǐ)濃度太高,表格的這一區域濃著白度限值不(bù)适用。

    　　由于低(山民dī)濃度時(shí)粒子(zǐ)采樣和統計的局限性,此區域分級不相刀(bù)适用。

    　　由于采樣系統可能的粒子(zǐ)損失和樣很森本收集的局限性,使得(de)低(dī)濃度和粒徑大(dà)于1&am店什p;mu;m 時(shí)對該粒徑進行的分級不(拿機bù)适用。

    　　該級别隻适用于動态。

    　　E.2 現區中間粒徑

    　　對任何整數或小(xiǎo)數等級的非金現表列粒徑有要求的,可使用公式(E.1)計算該關注粒徑友門的最大(dà)允許粒子(zǐ)濃度。

    　　附錄 F

    　　(資(zī)料性)

    　　檢測儀器(qì)

    　　F.1 說(shuō)明

    　　本附錄描述了附錄 A、附錄C 和附錄廠森D 中的檢測所宜使用的測量儀器(qì)。

    　　在本附錄中,表F.1和謝森表F.2中給出了每款儀器(qì)的基本要求。測量儀器(qì)的選用爸喝遵從用戶和供應商之間的協議。

    　　本附錄是資(zī)料性的,且門土不(bù)宜妨礙有更好(hǎo)儀器(qì)時(shí校玩)對更好(hǎo)儀器(qì)的使用。其他(tā)檢測儀可能也是适合的,可暗廠依據需方和供方之間的協議使用。

    　　F.2 儀器(qì)技術要求

    　　附錄 A、附錄C 和附錄D麗店 中提到的檢測宜使用下列測量儀:

    　　光散射(離散)粒子(zǐ)計數器(qì歌工)(LSAPC);

    　　注:LSAP近鄉C 的規格參數由GB/T29024.4&慢為mdash;2017給出。

    　　離散大(dà)粒子(z來分ǐ)計數器(qì);

    　　飛行時(shí)間測徑儀器分;

    　　用濾會著紙采集粒子(zǐ)的顯微測量。見 ASTM F312-08[3]。

    　　這些儀器(qì)輛可的術語和定義已在第3章中給出。

    　　表F.1 離散大(dà)粒得一子(zǐ)計數器(qì)的技術要求

    　　表F.2 飛行時(shí)間測徑儀的術自技術要

    　　來源：GMP辦公室、制藥生産刀場技術