監測超淨半導體環境的污染物控制解決方案（一見市）

2023-02-13
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深圳市億天淨化技術有限公司

半導體制造

　　Semiconductor Manufacturing

　　半導體短(duǎn)缺和半導體更小(xiǎo)的工(gōng河劇)藝節點競争。集成電路(IC)的短(duǎn)缺要求從制造過程中行唱獲得(de)更多的産出，因此行業領導者則在競争更小用區(xiǎo)的工(gōng)藝節點。這些挑戰要求對空氣中的顆粒物污染進兵可行監測，以确保産品無風險，産量(産品良率)提升，順利通(tōng是聽)過潔淨審核。TSI通(tōng)過我們(men)鐵些的高靈敏度粒子(zǐ)計數器(qì)提供從納輛讀米粒子(zǐ)到亞微米粒子(zǐ)等完整的環境監測解決方案，滿足半導體算影短(duǎn)缺和更小(xiǎo)工(gōng)藝節點的競争需求。務道

　　TSI 10 nm潔淨室凝聚核粒子(zǐ)計數器(qì北來)(CPC)和0.1 μm粒子(zǐ)計數器(qì)(手多開持式粒子(zǐ)計數器(qì)和遠程粒子(低有zǐ)計數器(qì))是滿足半導體行業關鍵需求的最佳資藍組合。

　　TSI 提供高靈敏度粒子(zǐ)計數器(qì)近60 遠這餘載，比任何其他(tā)粒子(zǐ)計數器(qì)公司曆史更悠久。T新森SI儀器(qì)被用于世界各地國家(jiā動嗎)級标準實驗室，這些實驗室要求卓越的準确性、重銀時複性和可靠性。絕不(bù)妥協于任一制造過程——相信TSI會(huì)監測請民到一切。

　　獨一無二的10nm測量

　　0.1 μm塵埃粒子(zǐ)計數器(qì)不(bù)能檢但房測納米級粒子(zǐ)污染物-你需要CPC(凝聚核粒子(線個zǐ)計數器(qì))。利用我們(men)在CPC技術上數十年的經驗習熱，TSI AeroTrak® 9001短銀潔淨室凝聚核粒子(zǐ)計數器(qì)(CPC)是專為(wèi)超潔淨半導體制坐計造提供可靠的、實時(shí)的納米粒子(zǐ)檢測，0.1 CFM流量鐘老用于檢測空氣或惰性壓縮氣體中的顆粒。