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監測系統

在線監測系統,既避免了人工(gōng)巡檢的人為(wèi)因素對潔木子淨室環境的幹擾,也滿足獲得(de)連續生産數據的要求。

RION液體粒子(zǐ)在線監測系統

RION液體粒子(zǐ)在線監測系統

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詳情介紹

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液體粒子(zǐ)實時(shí)在線監測系統圖

主要應用領域

液體粒子(zǐ)計數器(qì)的使用主要是為(wèi)了控制化學品種的開白粒子(zǐ),如(rú)半導體制作過程中的專用材料SO術長G(旋轉塗布玻璃)和光阻材料,超純水和清洗用化學劑(比如票金(rú)堿、有機溶劑和氫氟酸)。另外,也可以檢測化麗用學機械抛光中大(dà)粒徑的研磨液等。

特殊氣體粒子(zǐ)監測系統

使用在半導體、平闆顯示器(qì)、太陽能電池和其這喝他(tā)行業的産品處理中的許多原材料氣體是有毒、易飛員燃、腐蝕性和活躍性的。比如(rú)這些氣體會(huì)和水汽發生反應從而輕易關花産生顆粒物。控制這些反應從而抑制粒子(zǐ)在特殊氣體中的污關訊染是很有必要的。

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