随着半導體制程技術的飛速發展，芯片線寬這生已經進入納米級。與此同時(shí)，氣态分章分子(zǐ)污染物(AMC)也比顆粒污染物小(xiǎo)了幾個數量有知級，逐漸取代顆粒污染物成為(wèi)影響産好對業制程産率的關鍵因素之一。對微電子(zǐ)半導體制造業來說(sh作員uō)，氣态污染物會(huì)危害生産工(gōng)藝的關鍵環節，造成半導體晶綠媽體表面的氧化和侵蝕，引起成品合格率降低(dī)。因此，微電子(刀吧zǐ)廠房内分子(zǐ)級空氣污染的控制也越來越重要。

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